两种泵的主要区别是泵体内是否有油，油螺杆泵有油润滑，干式螺杆泵内不需要油润滑。

半导体行业常见，虽然爪泵的真空度不足以参与大部分半导体工艺，但完全满足半导体厂务真空的要求：洁净、能耗低、组合方便。是吸持、搬运、输送的好帮手。

油螺杆泵真空度工作范围是1mbar-1000mbar，可以在-50Kpa到-70Kpa下工作，不会有喷油现象，油螺杆泵在排气端有高效的油气分离系统，排气不会含有油。

爪泵作为干式真空泵的一种，过流部分没有油。但齿轮箱内部有润滑油给同步齿轮做润滑、冷却。

有，水环泵；对腐蚀性要求不高的场合可以使用SP泵。

常见的给袋机使用小油泵进行二段式抽空。

也可以使用螺杆+罗茨泵的方式进行集中式抽空，比如一套600抽速的螺杆泵+1000抽速的罗茨泵供给5套给袋式包装机进行透明袋的集中抽空。

10-400mbar下抽速比较大，100mbar左右**。

理论上很难，因为这两种包装机的节拍完全不一致，某些时间会互相干扰，需要选择比理论计算更大抽速的泵。

不能，DRP的极限无法满足镀膜工艺。可以选择干式螺杆泵DRYVAC。

机械密封，内冲洗。

高水汽情况下，让泵在高温下工作，使水以水蒸气的形式排出，不会有乳化。

有很多，厂务真空、吸持搬运等。

见上上题，不会乳化。

可以正常工作，对于比较高温的介质，建议选用合成油。

参考粗真空的计算公式：t=V/S*ln（P1/P2）。

油螺杆泵配有进气过滤器，有过滤作用，如果粉尘非常大，建议客户再加装一级过滤器。

莱宝的干式螺杆泵极限可到0.05~0.005mbarA，可在-70KPa以下工作。

相关配件莱宝基本都有。

虽然都有油，但是两个工作原理和结构不一样，一个是螺杆泵，一个是旋片泵。

这是可以通过流导公式计算，圆长管的流导：C=135*D⁴L(P1+P2)/2。

10-400mbar下抽速比较大，100mbar左右**。

可以配。

油螺杆泵比较智能，在总的使用过程中非常节能；干泵通过变频器调节，也可以达到节能的效果。

莱宝的泵实际性能比标的数据留有余量。

首先真空泵的极限一定要比腔体的极限好一到半个数量级。因为管道有损失。最终在腔体上达到的极限压强主要取决于管道末端的有效抽速和这个腔体的泄露+释气量，也就是总气载量。

减少泄露，注重节拍（两次抽空的间隔时间）来搭配合适的缓冲罐。

爪泵可以在大气下启动，广泛适用于粗真空市场。

爪泵为干泵，齿轮箱里有润滑油，润滑齿轮，泵腔内无润滑油。

3台SV300B或DV300。

C4.0控制器更智能，可实现多种功能编程，还可连接多种通讯协议。

排气温度高于100℃。

这取决于电磁阀所在位置和温度。腔体里面的高温不一定会传递出来，和真空度有很大关系。

我们真空泵有入口压强和温度的上限要求（说明书），阀门也一样，需要客户自己查说明书。

需要更换油过滤滤芯。

风冷，整个外罩上都有消音棉。

前级泵选型需要看腔体体积，一般是SV750BF+WAU2001+WH4400FU或者DV650+WH4400FU。

螺杆泵工作时候压缩产热是不可避免的，但是莱宝的泵有水冷散热，也会在泵表面热区域覆盖隔热层或者贴高温勿触标签，按照说明书操作不会伤人的。

是专用的真空泵，样本上的数据都在实验室测试过。

油螺杆泵有高水汽版本，可以使用，但要注意整体方案设计。

不能用于抽含腐蚀性、易燃易爆性气体。

可以搭配，莱宝稍后推出该新型号产品。

莱宝有螺杆泵实际可以达到100pa以下，但通常使用中，需要注意腔体材料和泄漏的影响。

不需要，油螺杆泵噪声低。

都要变频器情况下，都可以来调节转速，都能达到节能的目的。

两种泵都需要定期更换油，油螺杆泵额外需要定期更换油滤滤芯。

目前都是风冷。

螺杆泵对氦气等小分子气体抽空效果较差，因为螺杆泵靠狭缝密封。

需要使用吹扫气来裹挟小分子气体，莱宝的DV系列有专用的对氦抽空曲线，抽空效果杠杠滴。